Зеленоградский нанотехнологический центр (резидент ОЭЗ «Технополис Москва») в партнёрстве с белорусским заводом создал первый в России фотолитограф для

Такие микросхемы используются в силовой электронике, автоэлектронике и промышленных системах. В мире подобное оборудование выпускают всего три компании: голландская ASML и две японские – Nikon и Canon. При этом отечественная установка отличается от зарубежных аналогов. Впервые в качестве излучения использовали не ртутную лампу, а твердотельный лазер — мощный и энергоэффективный, с высокой долговечностью и более узким спектром. #москва