mobileworldlive.com . Утверждается, что оборудование Canon почти в 10 раз дешевле продукции ASML, поскольку не использует дорогую технологию фотолитографии. Вместо этого используется другая технология, NIL - Nanoimprint Lithography. Она не нова. NIL-машины действительно дешевле оборудования ASML, но менее производительны. Canon совершенствовала технологию NIL на протяжении длительного, не менее 10 лет, времени. Точность изготовления микросхем уступает точности работы машин ASML, но сопоставима с ними.